Type：CRF-VPO-4L-S

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：30L (Option)

等离子喷枪数量：4 layers (customizable)

工作气体：Ar, N2, H2, CF4, O2

Type：CRF -APO-IP-XXHD-DXX

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：800W*4set/ 25KHz

处理高度：5-15mm

等离子喷枪数量：4 (MAX)

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

Type：CRF-APO-500W-C

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：2set*600W/25KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：50-500mm(Option)

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

Type：CRF-APO-IP-XXHD-RXX

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：800W*4set/ 25KHz

处理高度：5-15mm

处理宽幅：20-80mm (Option)

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

Type：CRF-APO-RP1020-D

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：600-1000W/25KHz (Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：Rotary jet type: 20-80mm (Option) Compressed Air

工作气体：(0.4mpa)/N2(0.2mpa)

Type：CRF-VPO-8L-M

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：Cavity capacity 80L (customizable)

腔体层数：8 layers of cavity (customizable)

工作气体：Ar, N2, H2, CF4, O2